WEKO3
アイテム
六方晶金属と化合物半導体のエッチングによる欠陥評価
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2749
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/274936f32c71-bbe8-4341-aaf5-9aadbed22128
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (7.9 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-12-05 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 六方晶金属と化合物半導体のエッチングによる欠陥評価 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||
| その他のタイトル | ロッポウショウ キンゾク ト カゴウブツ ハンドウタイ ノ エッチング ニヨル ケッカン ヒョウカ | |||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||
| 著者 |
西川, 廣信
× 西川, 廣信
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| 著者別名 | ||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||
| 識別子 | 4539 | |||||||||
| 姓名 | Nishikawa, Hironobu | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 乙第36号 | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 1992-03-16 | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 13903 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 学位授与機関名 | 名古屋工業大学 | |||||||||
| 内容記述 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 主査：梅野 正義 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 六方晶金属 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 化合物 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 半導体 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | エッチング | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 欠陥評価 | |||||||||
| フォーマット | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||
