WEKO3
アイテム
プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2759
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/27599cdce1b5-1b3a-4a2c-a175-1de84fdfe679
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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公開日 | 2011-12-07 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
言語 | ||||||||||
言語 | jpn | |||||||||
資源タイプ | ||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
アクセス権 | ||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
その他(別言語等)のタイトル | ||||||||||
その他のタイトル | プラズマ CVDホウ ニヨル テッコウ ザイリョウ エノ コウシツ テイマサツマク ノ ケイセイ | |||||||||
言語 | ja-Kana | |||||||||
著者 |
小栗, 和幸
× 小栗, 和幸
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著者別名 | ||||||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||||||
識別子 | 7380 | |||||||||
姓名 | Oguri, Kazuyuki | |||||||||
学位名 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||||||
学位授与番号 | ||||||||||
学位授与番号 | 乙第42号 | |||||||||
学位授与年月日 | ||||||||||
学位授与年月日 | 1992-09-10 | |||||||||
著者版フラグ | ||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
学位授与機関 | ||||||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
学位授与機関識別子 | 13903 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
学位授与機関名 | 名古屋工業大学 | |||||||||
内容記述 | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | 主査:浅野 滋 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | プラズマCVD法 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | TiN膜 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | TiC膜 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | アモルファスSi-C膜 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | DLC-Si膜 | |||||||||
フォーマット | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | application/pdf |