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  1. 博士学位論文
  2. 専攻
  3. 旧:物質工学専攻
  1. 博士学位論文
  2. 年度
  3. 平成4年度

プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2759
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2759
9cdce1b5-1b3a-4a2c-a175-1de84fdfe679
名前 / ファイル ライセンス アクション
ot0042.pdf 本文_fulltext (11.1 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2011-12-07
タイトル
タイトル プラズマCVD法による鉄鋼材料への硬質低摩擦膜の形成
言語 ja
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
資源タイプ doctoral thesis
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
その他(別言語等)のタイトル
その他のタイトル プラズマ CVDホウ ニヨル テッコウ ザイリョウ エノ コウシツ テイマサツマク ノ ケイセイ
言語 ja-Kana
著者 小栗, 和幸

× 小栗, 和幸

小栗, 和幸

ja-Kana オグリ, カズユキ

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 7380
姓名 Oguri, Kazuyuki
学位名
言語 ja
学位名 博士(工学)
学位授与番号
学位授与番号 乙第42号
学位授与年月日
学位授与年月日 1992-09-10
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
学位授与機関
学位授与機関識別子Scheme kakenhi
学位授与機関識別子 13903
言語 ja
学位授与機関名 名古屋工業大学
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 主査:浅野 滋
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 プラズマCVD法
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 TiN膜
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 TiC膜
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 アモルファスSi-C膜
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 DLC-Si膜
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
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Ver.1 2023-05-15 14:18:15.835575
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