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  1. 研究論文

Structural investigation of keV Ar-ion-induced surface ripples in Si by cross-sectional transmission electron microscopy

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/5139
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/5139
06211cd0-d39e-4109-bc5e-468221b1d57c
名前 / ファイル ライセンス アクション
PRB 本文_fulltext (759.0 kB)
(c)2003 The American Physical Society
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2012-11-06
タイトル
タイトル Structural investigation of keV Ar-ion-induced surface ripples in Si by cross-sectional transmission electron microscopy
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Chini, T. K.

× Chini, T. K.

en Chini, T. K.

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Okuyama, F.

× Okuyama, F.

en Okuyama, F.

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Tanemura, Masaki

× Tanemura, Masaki

en Tanemura, Masaki

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Nordlund, K.

× Nordlund, K.

en Nordlund, K.

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著者別名
姓名 種村, 眞幸
書誌情報 en : PHYSICAL REVIEW B

巻 67, 号 20, p. 205403-1-205403-6, 発行日 2003-05-06
出版者
出版者 American Physical Society
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1098-0121
item_10001_source_id_32
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11187113
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
item_10001_relation_34
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.67.205403
関連名称 10.1103/PhysRevB.67.205403
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 Using cross-section transmission electron microscopy (XTEM) we have studied the surface and subsurface structure of individual ripples having submicron scale wavelength and nanometer scale amplitude, generated by obliquely incident (50?120 keV) Ar ion bombardment of Si. The XTEM results reveal that the front slopes of ion-induced ripples have amorphous layers containing bubbles with sizes ranging from about 3 to 15 nm facing the ion beam direction. A hinner amorphous layer without bubbles, on the other hand, persists on the rear slope of ripples. We also observe an irregular interface between a-Si and c-Si, which is due to the direct impact amorphization mechanism prevalent near the end-of-range during heavy ion irradiation.
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 13:40:58.159249
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