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  1. 研究論文

Ferroelectric Properties of BaTi_<0.91>(Hf_<0.5>Zr<0.5>)_<0.09>O_3 Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4989
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4989
e3bb8adb-621c-4a3d-805b-a25ecfe15f4d
名前 / ファイル ライセンス アクション
JCSJ 本文_fulltext (4.2 MB)
(c) 2001 The Ceramic Society of Japan
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2012-11-06
タイトル
タイトル Ferroelectric Properties of BaTi_<0.91>(Hf_<0.5>Zr<0.5>)_<0.09>O_3 Thin Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
その他(別言語等)のタイトル
その他のタイトル パルスレーザーデポジション法による BaTi_<0.91>(Hf_<0.5>Zr<0.5>)_<0.09>O_3薄膜の作製と強誘電体特性
言語 ja
著者 Kakemoto, Hirofumi

× Kakemoto, Hirofumi

en Kakemoto, Hirofumi

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Kakimoto, Ken-ichi

× Kakimoto, Ken-ichi

en Kakimoto, Ken-ichi

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Baba, Akira

× Baba, Akira

en Baba, Akira

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Fujita, Shigetaka

× Fujita, Shigetaka

en Fujita, Shigetaka

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Masuda, Yoichiro

× Masuda, Yoichiro

en Masuda, Yoichiro

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著者別名
姓名 柿本, 健一
bibliographic_information en : Journal of the Ceramic Society of Japan

巻 109, 号 1272, p. 651-655, 発行日 2001-08-01
出版者
出版者 The Ceramic Society of Japan
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0914-5400
item_10001_source_id_32
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10040326
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 BaTi_<0.91>(Hf_<0.5>Zr<0.5>)_<0.09>O_3 thin films were formed on Pt(111)/Ti/SiO_2/Si(100)substrates by pulsed laser deposition using fourth-harmonic-generated light(λ=266nm)of a Nd^<3+> :YAG laser beam. Crystallinity and stoichiometry of the thin films were determined by X-ray diffraction X-ray fluorescence analysis and electron probe microanalysis. Their ferroelectric properties were investigated from electrical measurements. The leakage current density increased from 10^<-11> to 10^<-3> A・cm^<-2>with increasing electric field up to 200kV. cm^<-1>. The dielectric constant, remanent polarization and coercive field of tghe BaTi_<0.91>(Hf_<0.5>Zr<0.5>)_<0.09>O_<3> thin films were estimated to be 120 at 1 kHz, 8.7 μC・cm^<-2> and 127kV・cm<-1>respectively.
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 13:43:18.448618
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