@misc{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00001392, author = {名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター}, month = {Mar}, note = {application/pdf}, title = {序文}, year = {1994}, yomi = {ナゴヤコウギョウダイガクゴクビコウゾウデバイスケンキュウセンター} }