@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00001411,
 author = {名古屋工業大学極微構造デバイス研究センター},
 journal = {極微構造デバイス研究センター報告書 = Technical Report at Research Center for Micro-Structure Devices},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {174--235},
 title = {RFプラズマCVD法によるカーボン薄膜の作成および評価},
 volume = {7},
 year = {2000},
 yomi = {ナゴヤコウギョウダイガクゴクビコウゾウデバイスケンキュウセンター}
}