@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00001600,
 author = {名古屋工業大学, 極微デバイス機能システム研究センター},
 journal = {極微デバイス機能システム研究センター報告書 = Technical report at Research Center for Nano-Device and System},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {1--122},
 title = {Si基板上GaN系半導体の評価},
 volume = {6},
 year = {2009},
 yomi = {ナゴヤコウギョウダイガクゴクビデバイスキノウシステムケンキュウセンター}
}