@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00001649,
 author = {梅野, 正義 and 内藤, 正美 and 鈴木, 孝之 and 曽我, 哲夫 and 神保, 孝志 and 松本, 功 and 加藤, 匡也},
 journal = {名古屋工業大學學報},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {183--189},
 title = {プラズマ MOCVD 装置の開発と InP 薄膜結晶成長},
 volume = {40},
 year = {1989},
 yomi = {ウメノ, マサヨシ}
}