@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00001739,
 author = {梅野, 正義 and 邵, 春林 and 酒井, 士郎 and 石川, 太郎},
 journal = {名古屋工業大學學報},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {169--176},
 title = {アモルファス Si: H 薄膜作成装置とその薄膜特性},
 volume = {34},
 year = {1983},
 yomi = {ウメノ, マサヨシ}
}