@phdthesis{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:02000004,
 author = {嶋, 昇平},
 month = {2023-07-13},
 note = {主査：後藤　敬典},
 school = {名古屋工業大学},
 title = {シリコン大規模集積回路のための電極及び配線に関する研究},
 year = {}
}