@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00002121,
 author = {増井, 寛二},
 journal = {名古屋工業大学紀要},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {141--146},
 title = {高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究},
 volume = {50},
 year = {1999},
 yomi = {マスイ, カンジ}
}