@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00002135,
 author = {増井, 寛二 and 近藤, 邦明},
 journal = {名古屋工業大学紀要},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {151--157},
 title = {MOS ダイオードのプラズマ損傷とその軽減対策},
 volume = {49},
 year = {1998},
 yomi = {マスイ, カンジ}
}