@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00002144,
 author = {内田, 秀雄 and 邵, 春林 and 曾我, 哲夫 and 神保, 孝志 and 梅野, 正義},
 journal = {名古屋工業大学紀要},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {165--169},
 title = {化学ビームエピタキシャル（CBE)法とそれによるシリコン基板上化合物半導体の結晶成長},
 volume = {48},
 year = {1997},
 yomi = {ウチダ, ヒデオ and ソガ, テツオ}
}