@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00002173,
 author = {愈, 国林 and 曾我, 哲夫 and 神保, 孝志 and 梅野, 正義},
 journal = {名古屋工業大学紀要},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {217--222},
 title = {分光エリプソメトリを用いた化合物半導体の評価},
 volume = {46},
 year = {1995},
 yomi = {ソガ, テツオ and ジンボ, タカシ and ウメノ, マサヨシ}
}