@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00002207,
 author = {梅野, 正義 and 鈴木, 孝之 and 曽我, 哲夫 and 神保, 孝志},
 journal = {名古屋工業大学紀要},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {199--205},
 title = {赤外線加熱方式 MOCVD 装置の開発},
 volume = {43},
 year = {1992},
 yomi = {ウメノ, マサヨシ}
}