WEKO3
アイテム / A Study of Statistical Characterization of Strength and Fatigue Lifetime for Silicon and Polysilicon Structures in MEMS / ko0862
ko0862
ファイル | ライセンス |
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ko0862.pdf (17.4 MB) sha256 29f70c0bc51ff153d3d6be321bacb9020e1d8e441666861438abf0a62213b781 |
公開日 | 2014-06-25 | |||||
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ファイル名 | ko0862.pdf | |||||
本文URL | https://nitech.repo.nii.ac.jp/record/3076/files/ko0862.pdf | |||||
ラベル | 本文_fulltext | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 17.4 MB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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