WEKO3
アイテム / A Study of Statistical Characterization of Strength and Fatigue Lifetime for Silicon and Polysilicon Structures in MEMS / ko0862_a
ko0862_a
ファイル | ライセンス |
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ko0862_a.pdf (461.8 kB) sha256 9516eab11fc6373bdeebd2249f4783b21af3425f666f76c9ff9e6f5d15215c34 |
公開日 | 2014-06-25 | |||||
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ファイル名 | ko0862_a.pdf | |||||
本文URL | https://nitech.repo.nii.ac.jp/record/3076/files/ko0862_a.pdf | |||||
ラベル | 要旨_abstract_review | |||||
オブジェクトタイプ | abstract | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 461.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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