@phdthesis{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00003201,
 author = {鈴木, 雅視},
 month = {2016-12-28, 2016-12-28},
 note = {主査：一瀬　郁夫},
 school = {名古屋工業大学},
 title = {ｃ軸平行もしくはｃ軸垂直極性反転多層AlN系薄膜の形成とその高次モード音響共振子への応用},
 year = {}
}