@phdthesis{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00003225, author = {松家, 大介}, month = {2016-12-28, 2016-12-28}, note = {主査:岩崎 誠}, school = {名古屋工業大学}, title = {ガルバノスキャナ位置決め装置における高速・高精度位置決め制御と軌道追従制御}, year = {}, yomi = {マツカ, ダイスケ} }