@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006076,
 author = {東出, 政信 and 仁科, 健 and 川村, 大伸},
 issue = {3},
 journal = {品質},
 month = {},
 note = {半導体製造工程(ウエーハプロセス)においては,品質特性のウエーハ内変動の大きさより変動パターンが問題となる場合がある.ウエーハ内の変動パターンには,加工装置への副生成物の付着や主要パーツの劣化,副生成物の除去とパーツ交換を行う装置メンテナンスの効果を受け,特有の繰り返しパターンが現れる.このウエーハ内変動は"ばらつきの大きさ"ではなく"ばらつきのパターン"であることから,ウエーハ内変動をばらつきパターンの情報を持たないR管理図によってモニターすることは妥当ではなく,測定位置を変数とした多変量管理図の利用を考えることができる.本研究では,多変量管理図の変形でありJackson and Mudholkar(1979)によって提案されたT^2-Q管理図に着目し,1)T^2統計量とQ統計量を構成する主成分の分割に対する考え方 2)寄与プロットの応用 3)ばらつきのパターンをモニタリングする必要性について提案と考察を行う.この考え方は,従来型管理図の主流であった変動の大きさの管理から,変動パターンの管理に視点を転換する方法の一つである., application/pdf},
 pages = {341--350},
 title = {半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ},
 volume = {44},
 year = {2014},
 yomi = {ヒガシデ, マサノブ and ニシナ, ケン and カワムラ, ヒロノブ}
}