@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006140,
 author = {名古屋工業大学, 極微デバイス機能システム研究センター},
 journal = {極微デバイス機能システム研究センター報告書 = Technical report at Research Center for Nano-Device and System},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {1--39},
 title = {MOCVD法による格子整合系 InAlN/AlGaN 溝造の成長と特性評価},
 volume = {12},
 year = {2015},
 yomi = {ナゴヤ コウギョウ ダイガク, ゴクビ デバイス キノウ システム ケンキュウ センター}
}