@phdthesis{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006290, author = {間瀬, 駿}, month = {2018-07-11, 2018-07-11}, note = {主査:江川 孝志}, school = {名古屋工業大学}, title = {Si基板上の縦型GaN系デバイスとGaNにおける欠陥解析に関する研究}, year = {} }