@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006477,
 author = {名古屋工業大学, 極微デバイス次世代材料研究センター},
 journal = {極微デバイス次世代材料研究センター報告書 = Technical report at Research Center for Nano Devices and Advanced Materials},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 pages = {1--70},
 title = {Si基板上の縦型GaN系デバイスとGaNにおける欠陥解析に関する研究},
 volume = {3},
 year = {2018},
 yomi = {ナゴヤ コウギョウ ダイガク, ナゴヤ コウギョウ ダイガク}
}