@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006773,
 journal = {極微デバイス次世代材料研究センター及び窒化物半導体マルチビジネス創生センター報告書},
 month = {Mar},
 pages = {1--105},
 title = {窒化物半導体へのAuフリーオーミック電極の形成とSi基板上GaN HEMTへの応用に関する研究},
 volume = {4},
 year = {2019}
}