@article{oai:nitech.repo.nii.ac.jp:00006781,
 journal = {極微デバイス次世代材料研究センター及び窒化物半導体マルチビジネス創生センター報告書},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf},
 title = {Si基板上縦型GaN MOSFETの試作とその特性改善に関する研究},
 volume = {5},
 year = {2020}
}