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  1. 博士学位論文
  2. 専攻
  3. 旧:電気情報工学専攻
  1. 博士学位論文
  2. 年度
  3. 平成2年度

プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2743
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2743
0a1a62fc-8db6-4dc3-b3db-d8f7c4fdc0b5
名前 / ファイル ライセンス アクション
ko0064_53-93.pdf 本文_fulltext (16.8 MB)
ko0064_1-52.pdf 本文_fulltext (11.7 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2012-04-26
タイトル
タイトル プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成
言語 ja
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
資源タイプ doctoral thesis
アクセス権
アクセス権 open access
アクセス権URI http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
その他(別言語等)のタイトル
その他のタイトル プラズマ オ モチイタ ダイヤモンドマク ノ テイオン キソウ ゴウセイ
言語 ja-Kana
著者 中尾, 節男

× 中尾, 節男

中尾, 節男

ja-Kana ナカオ, セツオ

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 7347
姓名 Nakao, Setsuo
学位名
言語 ja
学位名 工学博士
学位授与番号
学位授与番号 甲第64号
学位授与年月日
学位授与年月日 1991-03-23
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
学位授与機関
学位授与機関識別子Scheme kakenhi
学位授与機関識別子 13903
言語 ja
学位授与機関名 名古屋工業大学
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 主査:丸野 重雄
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 プラズマ
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 ダイヤモンド膜
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 低温気相合成
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 イオンプレーティング
キーワード
言語 ja
主題Scheme Other
主題 CVD法
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
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Ver.1 2023-05-15 14:18:22.061279
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