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アモルファス Si: H 薄膜作成装置とその薄膜特性
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/1739
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/1739f7f3cab9-e67c-4b90-9364-3a6a09a2cf72
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (1.1 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-06-25 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | アモルファス Si: H 薄膜作成装置とその薄膜特性 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | Apparatus Depositing Amorphous Si : H Films and Properties of Its Thin Films | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
梅野, 正義
× 梅野, 正義
× 邵, 春林
× 酒井, 士郎
× 石川, 太郎
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| 書誌情報 |
ja : 名古屋工業大學學報 巻 34, p. 169-176, 発行日 1983-03-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 名古屋工業大学 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0369-3171 | |||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00179603 | |||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||
