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分光エリプソメトリを用いた化合物半導体の評価
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2173
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2173c2b359bf-b4f9-4b0e-84f6-18ba25fe76f9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (469.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1) | |||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2011-11-25 | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 分光エリプソメトリを用いた化合物半導体の評価 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Characterization of compound semiconductor by spectroscopic ellipsometry | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
愈, 国林
× 愈, 国林
× 曾我, 哲夫
× 神保, 孝志
× 梅野, 正義
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| 書誌情報 |
ja : 名古屋工業大学紀要 巻 46, p. 217-222, 発行日 1995-03-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 名古屋工業大学 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0918-595X | |||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10389180 | |||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||
