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赤外線加熱方式 MOCVD 装置の開発
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2207
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/22079c96640f-c3bd-454a-a73e-81ded80c13c5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (818.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1) | |||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-06-25 | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | 赤外線加熱方式 MOCVD 装置の開発 | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Development of IR Heating MOCVD System | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
梅野, 正義
× 梅野, 正義
× 鈴木, 孝之
× 曾我, 哲夫
× 神保, 孝志
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| 書誌情報 |
ja : 名古屋工業大学紀要 巻 43, p. 199-205, 発行日 1992-03-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 名古屋工業大学 | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0918-595X | |||||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10389180 | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||
