WEKO3
アイテム
Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/3656
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/36566792812f-ce88-40cf-bcce-53194cb7e8ac
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
本文_fulltext (3.6 MB)
|
(c) 2012 by the authors. licensee Hindawi Publishing Corporation. Creative Commons Attribution Licence http://creativecommons.org/licenses/by/3.0/
|
Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2015-06-16 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility | |||||
言語 | en | |||||
言語 | ||||||
言語 | eng | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | journal article | |||||
著者 |
Yasui, Shinji
× Yasui, Shinji× Shojo, Tadashi× Inoue, Goichi× Koike, Kunihiko× Takeuchi, Akihiro× Iwasa, Yoshio |
|||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 8727 | |||||
識別子Scheme | NRID | |||||
識別子URI | http://rns.nii.ac.jp/nr/1000030371561 | |||||
識別子 | 1000030371561 | |||||
姓名 | Yasui, Shinji | |||||
書誌情報 |
International Journal of Chemical Engineering 巻 2012, p. 329419-1-329419-9, 発行日 2012 |
|||||
出版者 | ||||||
出版者 | Hindawi Publishing Corporation | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 1687806X | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
DOI | ||||||
関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
識別子タイプ | DOI | |||||
関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1155/2012/329419 | |||||
関連名称 | 10.1155/2012/329419 | |||||
フォーマット | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | application/pdf |