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Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/3656
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/36566792812f-ce88-40cf-bcce-53194cb7e8ac
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (3.6 MB)
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(c) 2012 by the authors. licensee Hindawi Publishing Corporation. Creative Commons Attribution Licence http://creativecommons.org/licenses/by/3.0/
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-06-16 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||
| 著者 |
Yasui, Shinji
× Yasui, Shinji
× Shojo, Tadashi
× Inoue, Goichi
× Koike, Kunihiko
× Takeuchi, Akihiro
× Iwasa, Yoshio
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| 著者別名 | ||||||||||||||||||
| 姓名 | Yasui, Shinji | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : International Journal of Chemical Engineering 巻 2012, p. 329419-1-329419-9, 発行日 2012 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | Hindawi Publishing Corporation | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1687-806X | |||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://dx.doi.org/10.1155/2012/329419 | |||||||||||||||||
| 関連名称 | 10.1155/2012/329419 | |||||||||||||||||
