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アイテム
YAGレーザーデポジションによるPZT薄膜合成過程におけるバルクターゲット-薄膜間の組成変動の評価
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4915
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/491541742070-64f9-4afb-9163-4b12773e4ea7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (3.6 MB)
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(c) 2001 The Ceramic Society of Japan
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2012-11-06 | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | YAGレーザーデポジションによるPZT薄膜合成過程におけるバルクターゲット-薄膜間の組成変動の評価 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||
| その他のタイトル | YAG レーザー デポジション ニヨル PZT ハクマク ゴウセイ カテイ ニオケル バルク ターゲット ハクマクカン ノ ソセイ ヘンドウ ノ ヒョウカ | |||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||
| その他のタイトル | Evaluation for Compositional Deviation between PZT Bulk Target and Its Thin Film Synthesized by YAG Laser Deposition | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 著者 |
柿本, 健一
× 柿本, 健一
× 掛本, 博文
× 増田, 陽一郎
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| 著者別名 | ||||||||||||||
| 姓名 | Kakimoto, Ken-ichi | |||||||||||||
| bibliographic_information |
en : Journal of the Ceramic Society of Japan 巻 109, 号 1266, p. 149-154, 発行日 2001-02-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | The Ceramic Society of Japan | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0914-5400 | |||||||||||||
| item_10001_source_id_32 | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10040326 | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||
| 内容記述 | In the process starting from fabrication of sintered PZT bulk target to its thin-film synthesis on Pt/Ti/SiO_2/Si substrates by pulsed laser deposition technique, the precise composition analysis has been carried out by X-ray fluorescence (XRF) measurement. The coexistent elemental effect was calibrated by a multiple regression analysis of normalized PZT specimens. As a result, an excellent XRF table for precise quantitative analysis of PZT system in the vicinity of the morphotropic phase boundary (MPB) around Zr/Ti=53/47 was prepared. X-ray diffraction (XRD) and its modeling calculation supported XRF results and evaluated Pb stoichiometry in the perovskite structure during sintering process of PZT bulk ceramics. Undre the variation of the partial oxygen pressure from 1 to 10 Pa in the PLD conditions, 5 Pa was the most suitable for PZT film growth highly oriented to perovskite (111) direction, and the composition deviation between bulk target and thin film was also investigated. Further effects of target degradation by laser-beam irradiation on the film stoichiometry and crystallinity were discussed. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
