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  1. 研究論文

Calculation of point defect concentrations in GaAs grown by molecular beam epitaxy

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4165
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4165
f8ff440e-22dc-4910-b0d8-9340f52d08c7
名前 / ファイル ライセンス アクション
JAP 本文_fulltext (372.5 kB)
Copyright (1992) American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.The following article appeared in Journal of Applied Physics, 72(3), pp.1200- 1202 ; 1992 and may be found at http://link.aip.org/link/?jap/72/1200
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2012-11-06
タイトル
タイトル Calculation of point defect concentrations in GaAs grown by molecular beam epitaxy
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Ichimura, Masaya

× Ichimura, Masaya

en Ichimura, Masaya

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Wada, Takao

× Wada, Takao

en Wada, Takao

Search repository
著者別名
姓名 市村, 正也
書誌情報 en : JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

巻 72, 号 3, p. 1200-1202, 発行日 1992-08-01
出版者
出版者 American Institute of Physics
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0021-8979
item_10001_source_id_32
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00693547
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
item_10001_relation_34
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 http://dx.doi.org/10.1063/1.351806
関連名称 10.1063/1.351806
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 Thermodynamic chemistry of native defects is applied to molecular beam epitaxial (MBE) growth of GaAs. Following the model of Stringfellow [J. Cryst. Growth 70, 133 (1984)], we assume that the equilibrium is established at the solid‐vapor interface. Calculated results show that the defect concentration is rather low, less than 1015 cm-3 under usual growth conditions and that MBE GaAs is less As‐rich than those grown by organometallic vapor phase epitaxy or halogen transport vapor phase epitaxy.
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 13:54:18.721876
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