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  1. 研究論文

Slow photoconductivity decay in 3C-SiC on Si substrates

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4591
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/4591
cee1e289-ba8a-4235-a7a3-f3c50346937f
名前 / ファイル ライセンス アクション
JAP 本文_fulltext (112.5 kB)
Copyright (1998) American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.The following article appeared in Journal of Applied Physics, 84(5) ,pp.2727- 2731 ; 1998 and may be found at http://link.aip.org/link/?jap/84/2727
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2012-11-06
タイトル
タイトル Slow photoconductivity decay in 3C-SiC on Si substrates
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Ichimura, Masaya

× Ichimura, Masaya

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Yamada, Noboru

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Tajiri, Hirotaka

× Tajiri, Hirotaka

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× Arai, Eisuke

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著者別名
姓名 市村, 正也
書誌情報 en : JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

巻 84, 号 5, p. 2727-2731, 発行日 1998-09-01
出版者
出版者 American Institute of Physics
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0021-8979
item_10001_source_id_32
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00693547
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 N-type 3C-SiC layers grown on p-type (001) Si substrates were characterized by the conventional photoconductivity decay method. A N2 laser (337 nm wavelength) was used as the excitation source. A very slow component with a time constant larger than 1 ms was observed in the photoconductivity decay curves. A numerical simulation considering a trap with a very small capture cross section for electrons (<1×10-21 cm2) was able to reproduce main qualitative features of the experimental results. From comparison of the experimental decay curves with the theoretical ones, the following conclusions were drawn about the trap in 3C-SiC. (1) The trap level Et is close to the conduction band edge Ec(Ec-Et = 0.1-0.15eV). (2) The concentration is considered to decrease with increasing donor concentration.
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 13:50:43.784496
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