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高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2121
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2121a3839d07-e7db-47a1-92bd-76c5cb69d093
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (763.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2010-06-25 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究 | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||
| その他のタイトル | On the Behavior of the Sputtering using Various Kinds of Rare Gases under Radio-Frequency Plasma | |||||||||
| 著者 |
増井, 寛二
× 増井, 寛二
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| 著者別名 | ||||||||||
| 姓名 | Masui, Kanji | |||||||||
| 書誌情報 |
名古屋工業大学紀要 巻 50, p. 141-146, 発行日 1999-03-31 |
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| 出版者 | ||||||||||
| 出版者 | 名古屋工業大学 | |||||||||
| ISSN | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
| 収録物識別子 | 0918595X | |||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
| 収録物識別子 | AN10389180 | |||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| フォーマット | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||||
