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  1. 名古屋工業大学紀要
  2. 50巻(1998)

高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2121
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2121
a3839d07-e7db-47a1-92bd-76c5cb69d093
名前 / ファイル ライセンス アクション
bnit1999_141.pdf 本文_fulltext (763.4 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1)
公開日 2010-06-25
タイトル
タイトル 高周波希ガスプラズマのスパッタリング現象の研究
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
その他(別言語等)のタイトル
その他のタイトル On the Behavior of the Sputtering using Various Kinds of Rare Gases under Radio-Frequency Plasma
著者 増井, 寛二

× 増井, 寛二

増井, 寛二

ja-Kana マスイ, カンジ

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著者別名
姓名 Masui, Kanji
書誌情報 名古屋工業大学紀要

巻 50, p. 141-146, 発行日 1999-03-31
出版者
出版者 名古屋工業大学
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0918595X
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10389180
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
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Ver.1 2023-05-15 14:21:45.995032
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