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  1. 研究論文

Interface properties of SiO2/n-GaN metal-insulator-semiconductor structures

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/5068
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/5068
3dcb1924-5e2a-40aa-a9ab-030dc7c88e29
名前 / ファイル ライセンス アクション
APL 本文_fulltext (67.2 kB)
Copyright (2002) American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics.The following article appeared in Applied physics letters, 80(25),pp.4756 -4758; 2002 and may be found at http://link.aip.org/link/?apl/80/4756
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2012-11-06
タイトル
タイトル Interface properties of SiO2/n-GaN metal-insulator-semiconductor structures
言語 en
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Nakano, Yoshitaka

× Nakano, Yoshitaka

en Nakano, Yoshitaka

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Jimbo, Takashi

× Jimbo, Takashi

en Jimbo, Takashi

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著者別名
姓名 神保, 孝志
bibliographic_information en : APPLIED PHYSICS LETTERS

巻 80, 号 25, p. 4756-4758, 発行日 2002-06-24
出版者
出版者 American Institute of Physics
言語 en
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0003-6951
item_10001_source_id_32
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00543432
出版タイプ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
item_10001_relation_34
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 http://dx.doi.org/10.1063/1.1486266
関連名称 10.1063/1.1486266
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 Electrical characterization of SiO2/n-GaN metal-insulator-semiconductor structures fabricated on sapphire substrates was performed by using high-frequency pulsed capacitance-voltage and capacitance-transient techniques. Fast and slow capacitance transients are clearly seen after applying reverse voltages, reflecting thermal emissions of carriers from the SiO2/GaN interface. The temperature dependence of the capacitance-voltage characteristics shows capacitance saturation in deep depletion (>15 V), which is probably associated with the slow capacitance transient. Deep-level transient spectroscopic measurements reveal two interface traps with activation energies of 0.71 and ?0.76 eV from the conduction band, corresponding to the fast and slow capacitance transients, respectively. Therefore, the observed capacitance saturation may be due to Fermi-level pinning induced by the latter interface trap.
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 14:01:34.210341
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