WEKO3
アイテム
Dry Etching Characteristics of MOVPE-Grown CdTe Epilayers in CH4, H2, Ar ECR Plasmas
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/6416
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/6416e568dcf3-3b85-4450-877b-8961b7cd43fa
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (780.4 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-03-19 | |||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Dry Etching Characteristics of MOVPE-Grown CdTe Epilayers in CH4, H2, Ar ECR Plasmas | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
Yasuda, K.
× Yasuda, K.
× Niraula, Madan
× Araki, N.
× Miyata, M.
× Kitagawa, S.
× Kojima, M.
× Ozawa, J.
× Tsubota, S.
× Yamaguchi, T.
× Agata, Y.
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| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||||||
| 姓名 | ニラウラ, マダン | |||||||||||||||||||||||||
| bibliographic_information |
en : Journal of Electronic Materials 巻 46, 号 9, p. 5400-5404, 発行日 2017-09 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Springer | |||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0361-5235 | |||||||||||||||||||||||||
| item_10001_source_id_32 | ||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA00697093 | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||||||||||||
| item_10001_relation_34 | ||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1007/s11664-017-5528-3 | |||||||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 10.1007/s11664-017-5528-3 | |||||||||||||||||||||||||
