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半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/6076
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/60767e96a90a-805c-401f-aa69-3b45b80ae039
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (1.2 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2017-07-26 | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | 半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Dry Etching Process | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Mahalanobis Distance | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Multivariate Control Chart | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Pattern of Variation | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Principal Component Analysis | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||
| その他（別言語等）のタイトル | ||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | A Practice of T^2-Q Control Charts in Semiconductor Manufacturing Process : A paradigm shift from monitoring the amount of variation to monitoring the pattern of variation | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
東出, 政信
× 東出, 政信
× 仁科, 健
× 川村, 大伸
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| 著者別名 | ||||||||||||||||||||||
| 姓名 | Nishina, Ken | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 姓名 | 仁科, 健 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| 姓名 | ニシナ, ケン | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 品質 巻 44, 号 3, p. 341-350, 発行日 2014 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 日本品質管理学会 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0386-8230 | |||||||||||||||||||||
| item_10001_source_id_32 | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00354769 | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||
| item_10001_relation_34 | ||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://doi.org/10.20684/quality.44.3_341 | |||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 10.20684/quality.44.3_341 | |||||||||||||||||||||
| item_10001_relation_35 | ||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NAID | |||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110009833208 | |||||||||||||||||||||
| 関連名称 | 110009833208 | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 半導体製造工程(ウエーハプロセス)においては,品質特性のウエーハ内変動の大きさより変動パターンが問題となる場合がある.ウエーハ内の変動パターンには,加工装置への副生成物の付着や主要パーツの劣化,副生成物の除去とパーツ交換を行う装置メンテナンスの効果を受け,特有の繰り返しパターンが現れる.このウエーハ内変動は"ばらつきの大きさ"ではなく"ばらつきのパターン"であることから,ウエーハ内変動をばらつきパターンの情報を持たないR管理図によってモニターすることは妥当ではなく,測定位置を変数とした多変量管理図の利用を考えることができる.本研究では,多変量管理図の変形でありJackson and Mudholkar(1979)によって提案されたT^2-Q管理図に着目し,1)T^2統計量とQ統計量を構成する主成分の分割に対する考え方 2)寄与プロットの応用 3)ばらつきのパターンをモニタリングする必要性について提案と考察を行う.この考え方は,従来型管理図の主流であった変動の大きさの管理から,変動パターンの管理に視点を転換する方法の一つである. | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
