| アイテムタイプ |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2017-07-26 |
| タイトル |
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タイトル |
半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ |
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言語 |
ja |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Dry Etching Process |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Mahalanobis Distance |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Multivariate Control Chart |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Pattern of Variation |
| キーワード |
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言語 |
en |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Principal Component Analysis |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| その他（別言語等）のタイトル |
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その他のタイトル |
A Practice of T^2-Q Control Charts in Semiconductor Manufacturing Process : A paradigm shift from monitoring the amount of variation to monitoring the pattern of variation |
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言語 |
en |
| 著者 |
東出, 政信
仁科, 健
川村, 大伸
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| 著者別名 |
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姓名 |
Nishina, Ken |
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言語 |
en |
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姓名 |
仁科, 健 |
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言語 |
ja |
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姓名 |
ニシナ, ケン |
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言語 |
ja-Kana |
| 書誌情報 |
ja : 品質
巻 44,
号 3,
p. 341-350,
発行日 2014
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| 出版者 |
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出版者 |
日本品質管理学会 |
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言語 |
ja |
| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0386-8230 |
| 書誌レコードID（NCID） |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00354769 |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
http://doi.org/10.20684/quality.44.3_341 |
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関連名称 |
10.20684/quality.44.3_341 |
| item_10001_relation_35 |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
NAID |
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関連識別子 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110009833208 |
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関連名称 |
110009833208 |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
半導体製造工程(ウエーハプロセス)においては,品質特性のウエーハ内変動の大きさより変動パターンが問題となる場合がある.ウエーハ内の変動パターンには,加工装置への副生成物の付着や主要パーツの劣化,副生成物の除去とパーツ交換を行う装置メンテナンスの効果を受け,特有の繰り返しパターンが現れる.このウエーハ内変動は"ばらつきの大きさ"ではなく"ばらつきのパターン"であることから,ウエーハ内変動をばらつきパターンの情報を持たないR管理図によってモニターすることは妥当ではなく,測定位置を変数とした多変量管理図の利用を考えることができる.本研究では,多変量管理図の変形でありJackson and Mudholkar(1979)によって提案されたT^2-Q管理図に着目し,1)T^2統計量とQ統計量を構成する主成分の分割に対する考え方 2)寄与プロットの応用 3)ばらつきのパターンをモニタリングする必要性について提案と考察を行う.この考え方は,従来型管理図の主流であった変動の大きさの管理から,変動パターンの管理に視点を転換する方法の一つである. |
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言語 |
ja |
本文_fulltext (1.2 MB)
