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プラズマ MOCVD 装置の開発と InP 薄膜結晶成長
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/1649
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/1649624db887-361c-433c-93fe-711072256c65
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文_fulltext (1.2 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-07-21 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | プラズマ MOCVD 装置の開発と InP 薄膜結晶成長 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | InP Epitaxial Growth using a Newly Developed Plasma MOCVD System | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
梅野, 正義
× 梅野, 正義
× 内藤, 正美
× 鈴木, 孝之
× 曾我, 哲夫
× 神保, 孝志
× 松本, 功
× 加藤, 匡也
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| 書誌情報 |
ja : 名古屋工業大學學報 巻 40, p. 183-189, 発行日 1989-03-31 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 名古屋工業大学 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0369-3171 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN00179603 | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||
