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  1. セラミックス基盤工学研究センター年報
  2. Vol.2(2002)

ロッキングカーブ測定を用いた多結晶薄膜における配向の解析

https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2317
https://nitech.repo.nii.ac.jp/records/2317
ceac9b41-7557-4076-87d0-2d8d4b8133a5
名前 / ファイル ライセンス アクション
arnit2002_31-38.pdf 本文_fulltext (117.3 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper_04(1)
公開日 2011-08-04
タイトル
タイトル ロッキングカーブ測定を用いた多結晶薄膜における配向の解析
言語 ja
タイトル
タイトル ロッキング カーブ ソクテイ オ モチイタ タケッショウ ハクマク ニオケル ハイコウ ノ カイセキ
言語 ja-Kana
タイトル
タイトル Analysis of Preferred Orientation in Polycrystalline Thin Films Using Rocking Curve Measurement
言語 en
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 虎谷, 秀穂

× 虎谷, 秀穂

ja 虎谷, 秀穂

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日比野, 寿

× 日比野, 寿

ja 日比野, 寿

ja-Kana ヒビノ, ヒサシ

en Hibino, Hisashi

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井田, 隆

× 井田, 隆

ja 井田, 隆

ja-Kana イダ, タカシ

en Ida, Takashi


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桑野, 範之

× 桑野, 範之

ja 桑野, 範之

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書誌情報 ja : セラミックス基盤工学研究センター年報
en : Annual report of the Ceramics Research Laboratory Nagoya Institute of Technology

巻 2, p. 31-38, 発行日 2003-03-31
出版者
出版者 名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センター
言語 ja
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 1347-1694
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11625130
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 A quantitative basis for the rocking curve measurement of the preferred orientation in polycrystalline thin films is presented.The preferred orientation distribution, represented by the Gaussian distribution functions, is determined by the least-squares fit ofa theoretical rocking curve to the observed curve, and a volume fraction of crystallites, whose normals to the crystal plane arepresent within a semi-vertical angle, can be obtained from it. A depth-dependent preferred orientation distribution in the AlNthin film was revealed by using double-layer and multiple-layer models. The preferred orientation of very small degree in Authin films could also be measured.
言語 en
見出し
大見出し <論文>
言語 ja
見出し
大見出し <Paper>
言語 en
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Ver.1 2023-05-15 13:23:59.954179
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