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セラミックス基盤工学研究センター年報 = Annual report of the Ceramics Research Laboratory Nagoya Institute of Technology
巻
2
ページ
31 - 38
発行年
2003-03-31
出版者
名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センター
ISSN
13471694
書誌レコードID
AA11625130
著者版フラグ
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内容記述
A quantitative basis for the rocking curve measurement of the preferred orientation in polycrystalline thin films is presented.The preferred orientation distribution, represented by the Gaussian distribution functions, is determined by the least-squares fit ofa theoretical rocking curve to the observed curve, and a volume fraction of crystallites, whose normals to the crystal plane arepresent within a semi-vertical angle, can be obtained from it. A depth-dependent preferred orientation distribution in the AlNthin film was revealed by using double-layer and multiple-layer models. The preferred orientation of very small degree in Authin films could also be measured.
ロッキングカーブ測定を用いた多結晶薄膜における配向の解析
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